经过努力,这种想法已成为现实---扫描电子显微镜(ScanningElectronicMicroscopy,SEM)。 SEM——利用极细电子束在被观测样品表面上进行扫描,通过分别收集电子束与样品相互
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扫描电子显微镜正是根据上述不同信息产生的机理,这说明俄歇电子信号适用与表层化学成分分析。 产生的次级电子的多少与电子束入射角有关,也就是说与样
环境扫描电子显微镜探测器正是利用此原理来增强信号的,这又称气体放大原理。LFD(低真空度模式下使用的探测
本文介绍模拟式电子显微镜扫描系统的基本组成,对系统整体和各单元电路的工作原理进行了分析。 The general composition of the sweep systems in analogue electron micr